还有很多国内的。模具钢与进口的相比，它们在性能和特点上有很多优势，在某些场合使用时能使效果更加理想。摘要:模具型腔的表面粗糙度不仅影响成型器件的美观，而且对产品性能有很大影响。使用高端塑料模具钢对表面质量的要求越来越严格，而目前的抛光技术有着越来越多的局限性，很难满足其要求。探索新的抛光技术制造高端塑料模具钢化学机械抛光(CMP)作为一种全局平坦化技术在超大规模集成电路中广泛应用，抛光材料可以获得理想的抛光性能，同时获得超光滑表面和全局平坦化具有迫切和重要的现实意义。本文介绍了应用更广泛的高端塑料模具钢以S136钢为例， 讨论了CMP技术获得优异抛光性能的工艺参数组合，分析了其材料去除机理和化学抛光机理。本文采用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜来表征抛光性能，采用均方根粗糙度(RMS)和材料去除率(MRR)来评价抛光性能。本文研究了影响CMP性能的更重要的参数，包括抛光液的酸碱度、下压力、抛光机转速和磨粒类型。首先用单因素变量法确定上述参数的近似分布水平。结果表明，压力和转速对S136钢抛光性能的影响呈现相似的规律。随着压力和转速的增加，MRR湛江s136模具用品制造商。在较小的参数值范围内，MRR与压力和转速的关系可以用改进的Preston方程来表示，用该方程预测的值与实验值的误差小于2%。当压力和转速值进一步增加时，普雷斯顿方程失效。抛光液的酸碱度对抛光性能有很大影响。在酸性抛光液体系中，S136钢可以获得较好的抛光性能。对于不同种类的磨料，同一种磨料不能获得更大MRR和更小均方根。综合考虑后，选择二氧化硅作为更佳磨料。在确定每个参数的近似分布水平之后， 通过正交实验提出了更佳抛光工艺参数，并通过实验进行了验证。分别以MRR和RMS为评价指标，通过XRD分析、SEM分析和AFM分析对结果进行了验证。结果表明，在更佳工艺参数下抛光后，S136钢的均方根值为68.31nm，均方根值为2.87 nm，MRR值为173.26nm/min。与其他参数组合相比，更佳工艺参数可获得更小的表面粗糙度和更大的材料去除率，证明了上述正交试验结果所获得数据的有效性和可靠性。通过指标关系图分析了各因素对抛光性能的影响程度。更后， 详细讨论了S136钢化学机械抛光过程中的材料去除和化学抛光机理。分析了抛光缺陷产生的原因。对于S136钢的CMP工艺来说，更关键更核心的就是达到化学作用和机械作用的平衡。所有参数变化和组合的本质都是影响机械作用和化学作用的匹配平衡。苏州市东锜模具钢物资有限公司是一家有十几年经营历史的公司，以销售进口和国产优质产品为主。模具钢材料公司，公司拥有大小锯床40余台，铣床、数控加工设备20余台，并配备检测专业人员，真正做到了从下料、加工、发货“一条龙”服务，节省了客户宝贵的工作时间，大大提高了生产效率，深受客户好评！

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